কোম্পানির খবর সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন জন্য CMP স্লারি ফিল্টার কার্তুজ

একটি সিএমপি স্লারি ফিল্টার কার্টিজ একটি উচ্চ-কর্মক্ষমতা পরিস্রাবণ উপাদান যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত হয়। সিএমপি স্লারিতে সাধারণত ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণা, রাসায়নিক সংযোজন, অক্সিডাইজার, স্টেবিলাইজার এবং অন্যান্য কার্যকরী উপাদান থাকে। এর উদ্দেশ্য হল ওয়েফারগুলিতে নিয়ন্ত্রিত উপাদান অপসারণ এবং পৃষ্ঠতলের প্ল্যানারাইজেশন অর্জন করা।

অতি বিশুদ্ধ জল বা সাধারণ রাসায়নিক পরিস্রাবণের সাথে তুলনা করে, সিএমপি স্লারি পরিস্রাবণ আরও জটিল। ফিল্টারটিকে অবশ্যই বড় আকারের কণা, অ্যাগ্লোমেরেটস, জেল এবং দূষণ অপসারণ করতে হবে যেগুলি কার্যকর ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণাগুলিকে পলিশ করার জন্য প্রয়োজনীয়।

অতএব, সিএমপি পরিস্রাবণ কেবলমাত্র ক্ষুদ্রতম মাইক্রোন রেটিং বেছে নেওয়ার বিষয়ে নয়। একটি উপযুক্ত সিএমপি ফিল্টার কার্টিজ অবশ্যই কণা নিয়ন্ত্রণ, স্লারি স্থায়িত্ব, প্রবাহ কর্মক্ষমতা, চাপ হ্রাস এবং প্রক্রিয়া সামঞ্জস্যের ভারসাম্য বজায় রাখতে হবে।

সিএমপি প্রক্রিয়াগুলিতে, কণার আকার বন্টন পলিশিং মানের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে সম্পর্কিত। যদি বড় আকারের কণা বা সমষ্টিগুলি পলিশিং সিস্টেমে প্রবেশ করে তবে তারা ওয়েফার স্ক্র্যাচ, পৃষ্ঠের ত্রুটি, অস্থির অপসারণের হার বা ফলন হ্রাসের কারণ হতে পারে।

একই সময়ে, যদি ফিল্টারটি খুব টাইট হয় বা স্লারির জন্য উপযুক্ত না হয়, তাহলে এটি দরকারী ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণাগুলিকে অপসারণ করতে পারে, স্লারির বৈশিষ্ট্যগুলি পরিবর্তন করতে পারে, চাপ হ্রাস বাড়াতে পারে বা ফিল্টারের পরিষেবা জীবনকে ছোট করতে পারে৷

সিএমপি স্লারি পরিস্রাবণের প্রধান লক্ষ্যগুলির মধ্যে রয়েছে:

• বড় আকারের কণা এবং সমষ্টি অপসারণ।
• ওয়েফার পলিশিংয়ের সময় স্ক্র্যাচের ঝুঁকি হ্রাস করা।
• স্থিতিশীল স্লারি কণা বন্টন বজায় রাখা.
• ডাউনস্ট্রিম পাম্প, ভালভ, অগ্রভাগ এবং পলিশিং সরঞ্জামগুলিকে রক্ষা করা।
• সামঞ্জস্যপূর্ণ মসৃণতা কর্মক্ষমতা এবং প্রক্রিয়া স্থায়িত্ব সমর্থন.

ফিল্টার উপাদান নির্বাচন স্লারি রসায়ন, ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম প্রকার, pH মান, অক্সিডাইজিং উপাদান, প্রবাহ হার, এবং পরিচ্ছন্নতার প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে।

• UPE ফিল্টার কার্তুজ সাধারণত উচ্চ-বিশুদ্ধতার স্লারি এবং ইলেকট্রনিক রাসায়নিক পরিস্রাবণে ব্যবহৃত হয় কারণ তাদের কম নিষ্কাশনযোগ্য, ভাল পরিচ্ছন্নতা এবং স্থিতিশীল কণা ধারণ কার্যক্ষমতা।
• পিপি ফিল্টার কার্তুজ স্লারি প্রাক-পরিস্রাবণ বা কম আক্রমনাত্মক স্লারি সিস্টেমের জন্য ব্যবহার করা যেতে পারে। পিপি উপকরণগুলি অনেক শিল্প এবং ইলেকট্রনিক তরল অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ভাল খরচ নিয়ন্ত্রণ এবং বিস্তৃত সামঞ্জস্য প্রদান করে।
• PES ফিল্টার কার্তুজনির্দিষ্ট জল-ভিত্তিক স্লারি অ্যাপ্লিকেশনের জন্য নির্বাচন করা যেতে পারে যেখানে ভাল প্রবাহ কর্মক্ষমতা এবং স্থিতিশীল পরিস্রাবণ দক্ষতা প্রয়োজন।
• PTFE ফিল্টার কার্তুজ শক্তিশালী রাসায়নিক প্রতিরোধের প্রয়োজন বিশেষ রাসায়নিক পরিবেশের জন্য বিবেচনা করা যেতে পারে।

বাস্তব CMP অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, ফিল্টার মিডিয়া, সমর্থন স্তর, কোর, খাঁচা, শেষ ক্যাপ এবং সিলিং উপাদানগুলিকে সামঞ্জস্যের সমস্যা বা গৌণ দূষণ এড়াতে একসাথে মূল্যায়ন করা উচিত।

সিএমপি স্লারি পরিস্রাবণ নির্ভুলতা স্লারি প্রকার এবং প্রক্রিয়া লক্ষ্যের উপর নির্ভর করে। বিভিন্ন CMP প্রক্রিয়ার জন্য বিভিন্ন পরিস্রাবণ স্তরের প্রয়োজন হতে পারে। কিছু অ্যাপ্লিকেশন বড় কণা এবং সমষ্টি অপসারণের উপর ফোকাস করে, অন্যদের সাব-মাইক্রন দূষকগুলির সূক্ষ্ম নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন।

যাইহোক, ছোট ছিদ্রের আকার সবসময় ভাল হয় না। যদি ফিল্টার অনেকগুলি স্বাভাবিক ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণা ধরে রাখে, তবে এটি স্লারির কার্যকরী কণার ঘনত্ব পরিবর্তন করতে পারে এবং পলিশিং কার্যকারিতা প্রভাবিত করতে পারে। ফিল্টারটি খুব খোলা থাকলে, বড় আকারের কণাগুলি এর মধ্য দিয়ে যেতে পারে এবং স্ক্র্যাচের ঝুঁকি বাড়াতে পারে।

এই কারণে, CMP ফিল্টার নির্বাচন উভয় পরিস্রাবণ রেটিং এবং প্রকৃত স্লারি আচরণ বিবেচনা করা উচিত, কণা আকার বন্টন, সান্দ্রতা, প্রবাহ হার, চাপ ড্রপ, এবং ফিল্টার জীবনকাল সহ।

সিএমপি ফিল্টার কার্তুজগুলি স্লারি সরবরাহ ব্যবস্থার বিভিন্ন পয়েন্টে ব্যবহার করা যেতে পারে।

• স্লারি উত্পাদন পরিস্রাবণ
  অবাঞ্ছিত বড় কণা অপসারণ এবং পণ্যের সামঞ্জস্য উন্নত করতে স্লারি উত্পাদন বা প্রস্তুতির সময় ব্যবহৃত হয়।
• বিতরণ লুপ পরিস্রাবণ
  স্টোরেজ, পাম্পিং বা পরিবহনের সময় উত্পন্ন কণা নিয়ন্ত্রণ করতে স্লারি সঞ্চালন সিস্টেমে ব্যবহৃত হয়।
• ব্যবহার বিন্দু পরিস্রাবণ
  স্লারি পলিশিং প্যাড বা ওয়েফার পৃষ্ঠে পৌঁছানোর আগে চূড়ান্ত কণা নিয়ন্ত্রণ সরবরাহ করতে CMP সরঞ্জামগুলির কাছাকাছি ইনস্টল করা হয়েছে।
• টুল-সাইড সুরক্ষা পরিস্রাবণ
  অগ্রভাগ, ভালভ এবং ডেলিভারি লাইনগুলিকে সমষ্টি বা প্রক্রিয়ার অবশিষ্টাংশ দ্বারা সৃষ্ট বাধা থেকে রক্ষা করতে ব্যবহৃত হয়।

একটি ভাল-পরিকল্পিত পরিস্রাবণ ব্যবস্থা ধীরে ধীরে কণার লোড কমাতে এবং চূড়ান্ত উচ্চ-নির্ভুল ফিল্টারগুলিকে সুরক্ষিত করতে পর্যায়ভুক্ত পরিস্রাবণ ব্যবহার করতে পারে।

সিএমপি পরিস্রাবণের জন্য ফিল্টার কর্মক্ষমতা এবং স্লারি স্থিতিশীলতা উভয়ের যত্নশীল মূল্যায়ন প্রয়োজন।

• প্রথম উদ্বেগ কণা নিয়ন্ত্রণ হয়. ফিল্টারটি কার্যকরভাবে বড় আকারের কণা এবং সমষ্টিগুলিকে অপসারণ করতে হবে যা ওয়েফার ত্রুটির কারণ হতে পারে।
• দ্বিতীয় উদ্বেগ স্লারি সামঞ্জস্য হয়. ফিল্টার উল্লেখযোগ্যভাবে দরকারী ঘষিয়া তুলিয়া ফেলিতে সক্ষম কণা বন্টন পরিবর্তন করা উচিত নয়.
• তৃতীয় উদ্বেগ হল চাপ হ্রাস। অত্যধিক চাপ ড্রপ স্লারি বিতরণের স্থায়িত্বকে প্রভাবিত করতে পারে এবং সিস্টেমের লোড বাড়াতে পারে।
• চতুর্থ উদ্বেগ রাসায়নিক সামঞ্জস্যতা। ফিল্টার উপাদান অবশ্যই স্লারি রসায়ন এবং অপারেটিং অবস্থার সাথে মেলে।
• পঞ্চম উদ্বেগ হল পরিচ্ছন্নতা। কম নিষ্কাশনযোগ্য, কম কণা ঝরানো, এবং পরিষ্কার উত্পাদন সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
• ষষ্ঠ উদ্বেগ হল সেবা জীবন। ফিল্টার ঘন ঘন বাধা বা অকাল প্রতিস্থাপন ছাড়া স্থিতিশীল অপারেশন প্রদান করা উচিত।
• সপ্তম উদ্বেগ নির্ভরযোগ্যতা sealing হয়. কোনো বাইপাস ফুটো পরিস্রাবণ কার্যকারিতা কমাতে পারে এবং প্রক্রিয়া ঝুঁকি বাড়াতে পারে।

পুলনার সিএমপি স্লারি পরিস্রাবণ এবং সেমিকন্ডাক্টর-সম্পর্কিত উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ফিল্টার কার্টিজ সমাধান সরবরাহ করে। উপলব্ধ ফিল্টার মিডিয়ার মধ্যে রয়েছে UPE, PP, PES, PTFE, নাইলন, PVDF, এবং বিভিন্ন প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা অনুযায়ী অন্যান্য উপকরণ।

পুলনার স্লারি টাইপ, পরিস্রাবণ অবস্থান, প্রবাহ হার, চাপ, তাপমাত্রা, কণা নিয়ন্ত্রণ লক্ষ্য, বিদ্যমান ফিল্টার মডেল, অঙ্কন বা নমুনার উপর ভিত্তি করে উপযুক্ত CMP ফিল্টার নির্বাচন করতে গ্রাহকদের সমর্থন করতে পারে।

স্লারি কণা দূষণ, উচ্চ চাপ ড্রপ, সংক্ষিপ্ত ফিল্টার লাইফটাইম, অস্থির পলিশিং কর্মক্ষমতা, বা আমদানিকৃত ফিল্টার প্রতিস্থাপনের প্রয়োজনের সম্মুখীন গ্রাহকদের জন্য, পুলনার কাজের অবস্থা বিশ্লেষণ করতে এবং একটি উপযুক্ত পরিস্রাবণ সমাধানের সুপারিশ করতে পারে।

সিএমপি স্লারি ফিল্টার কার্তুজগুলি সেমিকন্ডাক্টর পলিশিং প্রক্রিয়াগুলিতে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। তাদের উদ্দেশ্য শুধুমাত্র কণা অপসারণ নয়, স্লারি স্থিতিশীলতা বজায় রাখা এবং ওয়েফার ত্রুটির ঝুঁকি হ্রাস করা।

একটি উপযুক্ত CMP ফিল্টার কণা অপসারণ, স্লারি সামঞ্জস্য, চাপ হ্রাস, প্রবাহ কর্মক্ষমতা, পরিচ্ছন্নতা, এবং পরিষেবা জীবন ভারসাম্য করা উচিত।

Pullner বিশ্বব্যাপী সেমিকন্ডাক্টর গ্রাহকদের জন্য নির্ভরযোগ্য, সাশ্রয়ী, এবং কাস্টমাইজড CMP স্লারি ফিল্টার কার্টিজ সমাধান প্রদান করতে প্রতিশ্রুতিবদ্ধ।